ElektronikMga espesyal na gasay isang mahalagang sangay ng mga espesyal na gas. Tumagos sila sa halos bawat link ng semiconductor production at kailangang-kailangan na mga hilaw na materyales para sa paggawa ng mga elektronikong industriya tulad ng mga ultra-malalaking scale na integrated circuit, flat panel display device, at mga solar cells.

Sa teknolohiya ng semiconductor, ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay malawakang ginagamit. Sa kasalukuyan, sa pandaigdigang merkado ng elektronikong gas, ang fluorine na naglalaman ng mga electronic gas ay halos 30% ng kabuuang. Ang fluorine na naglalaman ng mga elektronikong gas ay isang mahalagang sangkap ng mga espesyal na gas ng elektronik sa larangan ng mga materyales na impormasyon sa elektronik. Pangunahing ginagamit ang mga ito bilang mga ahente ng paglilinis at mga ahente ng etching, at maaari ding magamit bilang mga dopant, mga materyales na bumubuo ng pelikula, atbp Sa artikulong ito, dadalhin ka ng may-akda upang maunawaan ang mga karaniwang gas na naglalaman ng fluorine.

Ang mga sumusunod ay karaniwang ginagamit na mga gas na naglalaman ng fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): Isang gas na ginagamit para sa paglilinis at pag -alis ng mga deposito, karaniwang ginagamit para sa paglilinis ng mga silid ng reaksyon at mga kagamitan sa kagamitan.

Sulfur Hexafluoride (SF6): Isang fluorinating agent na ginamit sa mga proseso ng pag -aalis ng oxide at bilang isang insulating gas para sa pagpuno ng insulating media.

Hydrogen fluoride (HF): Ginamit upang alisin ang mga oxides mula sa ibabaw ng silikon at bilang isang etchant para sa etching silikon at iba pang mga materyales.

Nitrogen fluoride (NF): Ginamit sa mga materyales na etch tulad ng silikon nitride (kasalanan) at aluminyo nitride (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) atTetrafluoromethane (CF4): Ginamit sa etch fluoride na materyales tulad ng silikon fluoride at aluminyo fluoride.

Gayunpaman, ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay may ilang mga panganib, kabilang ang toxicity, corrosiveness, at flammability.

Toxicity

Ang ilang mga gas na naglalaman ng fluorine ay nakakalason, tulad ng hydrogen fluoride (HF), na ang singaw ay lubos na nakakainis sa balat at respiratory tract at nakakapinsala sa kalusugan ng tao.

Corrosiveness

Ang hydrogen fluoride at ilang mga fluorides ay lubos na nakakadilim at maaaring maging sanhi ng malubhang pinsala sa balat, mata at respiratory tract.

Flammability

Ang ilang mga fluorides ay nasusunog at gumanti sa oxygen o tubig sa hangin upang palabasin ang matinding init at nakakalason na gas, na maaaring magdulot ng sunog o pagsabog.

High-pressure hazard

Ang ilang mga fluorinated gas ay sumasabog sa ilalim ng mataas na presyon at nangangailangan ng espesyal na pangangalaga kapag ginamit at nakaimbak.

Epekto sa kapaligiran

Ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay may mataas na mga halaga ng atmospheric at mga halaga ng GWP, na may mapanirang epekto sa layer ng atmospheric ozone at maaaring maging sanhi ng pandaigdigang pag-init at polusyon sa kapaligiran.

Ang aplikasyon ng mga gas sa mga umuusbong na patlang tulad ng electronics ay patuloy na lumalalim, na nagdadala ng isang malaking halaga ng bagong demand para sa mga pang -industriya na gas. Batay sa malaking halaga ng bagong kapasidad ng produksyon ng mga pangunahing sangkap na elektronik tulad ng mga semiconductors at pagpapakita ng mga panel sa mainland China sa susunod na ilang taon, pati na rin ang malakas na demand para sa pag -import ng pagpapalit ng mga elektronikong kemikal na materyales, ang domestic electronic gas na industriya ay magdadala sa isang mataas na rate ng paglago.