Electronicmga espesyal na gasay isang mahalagang sangay ng mga espesyal na gas. Ang mga ito ay tumagos sa halos bawat link ng produksyon ng semiconductor at mga kailangang-kailangan na hilaw na materyales para sa produksyon ng mga elektronikong industriya tulad ng ultra-large-scale integrated circuits, flat panel display device, at solar cells.

Sa teknolohiyang semiconductor, ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay malawakang ginagamit. Sa kasalukuyan, sa pandaigdigang merkado ng elektronikong gas, ang mga elektronikong gas na naglalaman ng fluorine ay humigit-kumulang 30% ng kabuuan. Ang mga elektronikong gas na naglalaman ng fluorine ay isang mahalagang bahagi ng mga espesyal na elektronikong gas sa larangan ng mga materyal na elektronikong impormasyon. Pangunahing ginagamit ang mga ito bilang mga ahente ng paglilinis at mga ahente ng pag-ukit, at maaari ding gamitin bilang mga dopant, mga materyales na bumubuo ng pelikula, atbp. Sa artikulong ito, dadalhin ka ng may-akda upang maunawaan ang mga karaniwang gas na naglalaman ng fluorine.

Ang mga sumusunod ay karaniwang ginagamit na mga gas na naglalaman ng fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): Isang gas na ginagamit para sa paglilinis at pag-alis ng mga deposito, kadalasang ginagamit para sa paglilinis ng mga reaction chamber at mga surface ng kagamitan.

Sulfur hexafluoride (SF6): Isang fluorinating agent na ginagamit sa mga proseso ng oxide deposition at bilang isang insulating gas para sa pagpuno ng insulating media.

Hydrogen fluoride (HF): Ginagamit upang alisin ang mga oxide mula sa ibabaw ng silikon at bilang isang etchant para sa pag-ukit ng silikon at iba pang mga materyales.

Nitrogen fluoride (NF): Ginagamit sa pag-etch ng mga materyales tulad ng silicon nitride (SiN) at aluminum nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) attetrafluoromethane (CF4): Ginagamit para mag-ukit ng mga materyales na fluoride tulad ng silicon fluoride at aluminum fluoride.

Gayunpaman, ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay may ilang partikular na panganib, kabilang ang toxicity, corrosiveness, at flammability.

Lason

Ang ilang mga gas na naglalaman ng fluorine ay nakakalason, tulad ng hydrogen fluoride (HF), na ang singaw ay lubhang nakakairita sa balat at respiratory tract at nakakapinsala sa kalusugan ng tao.

Kaagnasan

Ang hydrogen fluoride at ilang fluoride ay lubhang kinakaing unti-unti at maaaring magdulot ng malubhang pinsala sa balat, mata at respiratory tract.

Pagkasunog

Ang ilang mga fluoride ay nasusunog at tumutugon sa oxygen o tubig sa hangin upang maglabas ng matinding init at mga nakakalason na gas, na maaaring magdulot ng sunog o pagsabog.

Mataas na presyon ng panganib

Ang ilang mga fluorinated gas ay sumasabog sa ilalim ng mataas na presyon at nangangailangan ng espesyal na pangangalaga kapag ginamit at iniimbak.

Epekto sa kapaligiran

Ang mga fluorine-containing gas ay may mataas na atmospheric lifetimes at GWP values, na may mapanirang epekto sa atmospheric ozone layer at maaaring magdulot ng global warming at polusyon sa kapaligiran.

Ang paggamit ng mga gas sa mga umuusbong na larangan tulad ng electronics ay patuloy na lumalalim, na nagdadala ng malaking halaga ng bagong pangangailangan para sa mga pang-industriyang gas. Batay sa malaking halaga ng bagong kapasidad ng produksyon ng mga pangunahing elektronikong sangkap tulad ng mga semiconductors at display panel sa mainland China sa susunod na mga taon, pati na rin ang malakas na pangangailangan para sa pagpapalit ng pag-import ng mga elektronikong kemikal na materyales, ang domestic electronic gas industry ay magsisimula isang mataas na rate ng paglago.