Elektronikomga espesyal na gasay isang mahalagang sangay ng mga espesyal na gas. Tumatagos ang mga ito sa halos bawat kawing ng produksyon ng semiconductor at mga kailangang-kailangan na hilaw na materyales para sa produksyon ng mga industriya ng elektroniko tulad ng mga ultra-large-scale integrated circuit, flat panel display device, at solar cell.

Sa teknolohiya ng semiconductor, malawakang ginagamit ang mga gas na naglalaman ng fluorine. Sa kasalukuyan, sa pandaigdigang merkado ng elektronikong gas, ang mga elektronikong gas na naglalaman ng fluorine ay bumubuo ng humigit-kumulang 30% ng kabuuang halaga. Ang mga elektronikong gas na naglalaman ng fluorine ay isang mahalagang bahagi ng mga espesyal na elektronikong gas sa larangan ng mga materyales sa elektronikong impormasyon. Pangunahin ang mga ito bilang mga ahente ng paglilinis at mga ahente ng pag-ukit, at maaari ding gamitin bilang mga dopant, mga materyales na bumubuo ng pelikula, atbp. Sa artikulong ito, dadalhin ka ng may-akda upang maunawaan ang mga karaniwang gas na naglalaman ng fluorine.

Ang mga sumusunod ay karaniwang ginagamit na mga gas na naglalaman ng fluorine

Nitrogen trifluoride (NF3): Isang gas na ginagamit para sa paglilinis at pag-alis ng mga deposito, karaniwang ginagamit para sa paglilinis ng mga silid ng reaksyon at mga ibabaw ng kagamitan.

Sulfur hexafluoride (SF6): Isang fluorinating agent na ginagamit sa mga proseso ng pagdeposito ng oxide at bilang isang insulating gas para sa pagpuno ng insulating media.

Hydrogen fluoride (HF): Ginagamit upang alisin ang mga oxide mula sa ibabaw ng silicon at bilang isang etchant para sa pag-ukit ng silicon at iba pang mga materyales.

Nitrogen fluoride (NF): Ginagamit sa pag-ukit ng mga materyales tulad ng silicon nitride (SiN) at aluminum nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) attetrafluoromethane (CF4): Ginagamit upang mag-ukit ng mga materyales na may fluoride tulad ng silicon fluoride at aluminum fluoride.

Gayunpaman, ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay may ilang mga panganib, kabilang ang toxicity, corrosion, at flammability.

Pagkalason

Ang ilang mga gas na naglalaman ng fluorine ay nakalalason, tulad ng hydrogen fluoride (HF), na ang singaw ay lubos na nakakairita sa balat at respiratory tract at nakakapinsala sa kalusugan ng tao.

Pagkakaroon ng kalawang

Ang hydrogen fluoride at ilang fluoride ay lubhang nakakadumi at maaaring magdulot ng malubhang pinsala sa balat, mata, at respiratory tract.

Pagkasusunog

Ang ilang fluoride ay madaling magliyab at tumutugon sa oxygen o tubig sa hangin upang maglabas ng matinding init at mga nakalalasong gas, na maaaring magdulot ng sunog o pagsabog.

Panganib sa mataas na presyon

Ang ilang mga fluorinated gas ay sumasabog sa ilalim ng mataas na presyon at nangangailangan ng espesyal na pangangalaga kapag ginagamit at iniimbak.

Epekto sa kapaligiran

Ang mga gas na naglalaman ng fluorine ay may matataas na habang-buhay sa atmospera at mga halaga ng GWP, na may mapanirang epekto sa ozone layer ng atmospera at maaaring magdulot ng global warming at polusyon sa kapaligiran.

Ang paggamit ng mga gas sa mga umuusbong na larangan tulad ng elektronika ay patuloy na lumalalim, na nagdudulot ng malaking dami ng bagong pangangailangan para sa mga gas na pang-industriya. Batay sa malaking dami ng bagong kapasidad sa produksyon ng mga pangunahing elektronikong bahagi tulad ng mga semiconductor at display panel sa mainland China sa susunod na mga taon, pati na rin ang malakas na pangangailangan para sa import substitution ng mga elektronikong kemikal na materyales, ang industriya ng elektronikong gas sa loob ng bansa ay magdadala ng mataas na antas ng paglago.