Hydrogen chlorideay isang walang kulay na gas na may masangsang na amoy. Ang may tubig na solusyon nito ay tinatawag na hydrochloric acid, na kilala rin bilang hydrochloric acid. Ang hydrogen chloride ay lubhang natutunaw sa tubig. Sa 0°C, ang 1 volume ng tubig ay maaaring matunaw ang humigit-kumulang 500 volume ng hydrogen chloride.

Ito ay may mga sumusunod na katangian at katangian:

1. Mataas na kadalisayan

Ang kadalisayan ng electronic gradehydrogen chlorideay napakataas, kadalasan sa ppm o mas mababang antas, upang matiyak na walang mga impurities na ipinapasok sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

2. Kawalang-kilos

Ito ay isang chemically inert gas na hindi tumutugon sa maraming iba pang mga sangkap, na napakahalaga upang maiwasan ang kontaminasyon ng mga materyales at kagamitan ng semiconductor.

3. Mataas na katatagan

Elektronikong gradohydrogen chloridesa pangkalahatan ay may matatag na kimika upang matiyak ang maaasahang pagproseso ng semiconductor.

Sa pagproseso ng semiconductor, ang mga pangunahing aplikasyon ng electronic grade hydrogen chloride ay kinabibilangan ng:

1. Paglilinis at paghahanda sa ibabaw

Bilang isang mahusay na panlinis sa ibabaw, electronic gradehydrogen chlorideay ginagamit upang alisin ang mga oxide at impurities mula sa ibabaw ng substrate upang matiyak ang kalidad at kadalisayan ng epitaxial layer o pelikula.

2.Epitaxial growth aid

Ginagamit bilang ahente sa paggamot sa ibabaw sa proseso ng epitaxial, nakakatulong ito upang mapabuti ang kalidad ng layer ng epitaxial, mapabuti ang pagtutugma ng sala-sala, at bawasan ang pagbuo ng mga depekto sa sala-sala.

3. Pretreatment ng substrate

Bago ang paghahanda ng mga aparatong semiconductor, elektronikong gradohydrogen chlorideay maaaring gamitin upang gamutin ang ibabaw ng substrate upang bumuo ng isang matatag na base upang mapabuti ang pagdirikit sa pagitan ng epitaxial layer at ng substrate.

4. Deposition auxiliary agent

Sa proseso ng chemical vapor deposition (CVD) o physical vapor deposition (PVD), ang electronic grade hydrogen chloride ay maaaring gamitin bilang gas phase transfer medium upang lumahok sa deposition reaction ng mga semiconductor na materyales.

5. Gas-phase transfer agent

Bilang gas-phase transfer agent, ang iba pang mga gaseous precursor ay ipinapasok sa reaction chamber upang makatulong na ayusin ang deposition rate at pagkakapareho ng materyal.

Ang mga katangiang ito ay gumagawa ng electronic gradehydrogen chlorideisang mahalagang ahente sa pagpoproseso sa teknolohiyang semiconductor, na may pangunahing epekto sa pagganap at pagiging maaasahan ng panghuling device.

Bilang karagdagan sa paggamit nito sa pagpoproseso ng semiconductor, ang electronic grade hydrogen chloride ay makakahanap ng iba't ibang gamit sa ibang mga lugar, kabilang ang: Paghahanda ng mataas na kadalisayan na materyales, Fuel Cells, Semiconductor material growth, Vapor Phase Lithography, Material Analysis, Chemical Research.

Sa pangkalahatan, elektronikong gradohydrogen chlorideay isang maraming nalalaman, mataas na kadalisayan na gas na may malawak na hanay ng mga aplikasyon sa labas ng paggawa ng semiconductor.