Hydrogen chlorideay isang walang kulay na gas na may isang nakamamanghang amoy. Ang may tubig na solusyon nito ay tinatawag na hydrochloric acid, na kilala rin bilang hydrochloric acid. Ang hydrogen chloride ay napaka -natutunaw sa tubig. Sa 0 ° C, 1 dami ng tubig ang maaaring matunaw ng halos 500 na dami ng hydrogen chloride.

Mayroon itong mga sumusunod na katangian at katangian:

1. Mataas na kadalisayan

Ang kadalisayan ng electronic gradehydrogen chlorideay napakataas, karaniwang sa PPM o mas mababang antas, upang matiyak na walang mga impurities na ipinakilala sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.

2. Inertness

Ito ay isang kemikal na inert gas na hindi gumanti sa maraming iba pang mga sangkap, na napakahalaga upang maiwasan ang kontaminasyon ng mga materyales at kagamitan sa semiconductor.

3. Mataas na katatagan

Electronic gradehydrogen chloridesa pangkalahatan ay may matatag na kimika upang matiyak ang maaasahang pagproseso ng semiconductor.

Sa pagproseso ng semiconductor, ang pangunahing mga aplikasyon ng electronic grade hydrogen chloride ay kasama ang:

1. Paglilinis at paghahanda sa ibabaw

Bilang isang mahusay na paglilinis ng ibabaw, elektronikong gradohydrogen chlorideay ginagamit upang alisin ang mga oxides at impurities mula sa ibabaw ng substrate upang matiyak ang kalidad at kadalisayan ng epitaxial layer o pelikula.

2.Epitaxial Aid Aid

Ginamit bilang isang ahente ng paggamot sa ibabaw sa proseso ng epitaxial, nakakatulong ito upang mapagbuti ang kalidad ng epitaxial layer, pagbutihin ang pagtutugma ng sala -sala, at bawasan ang pagbuo ng mga depekto sa sala -sala.

3. Pagpapanggap ng substrate

Bago ang paghahanda ng mga aparato ng semiconductor, electronic gradehydrogen chlorideMaaaring magamit upang gamutin ang ibabaw ng substrate upang makabuo ng isang matatag na base upang mapabuti ang pagdirikit sa pagitan ng epitaxial layer at ang substrate.

4. Pag -aalis ng Auxiliary Agent

Sa proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal (CVD) o pisikal na pag -aalis ng singaw (PVD), ang elektronikong grade hydrogen chloride ay maaaring magamit bilang isang gas phase transfer medium upang lumahok sa reaksyon ng pag -aalis ng mga materyales na semiconductor.

5. Gas-Phase Transfer Agent

Bilang isang ahente ng paglipat ng gas-phase, ang iba pang mga gas na precursor ay ipinakilala sa silid ng reaksyon upang makatulong na ayusin ang rate ng pag-aalis at pagkakapareho ng materyal.

Ang mga katangiang ito ay gumagawa ng electronic gradehydrogen chlorideIsang mahalagang ahente ng pagproseso sa teknolohiya ng semiconductor, na may pangunahing epekto sa pagganap at pagiging maaasahan ng pangwakas na aparato.

Bilang karagdagan sa paggamit nito sa pagproseso ng semiconductor, ang electronic grade hydrogen chloride ay maaaring makahanap ng iba't ibang mga gamit sa iba pang mga lugar, kabilang ang: Paghahanda ng mataas na kadalisayan ng mga materyales, mga cell ng gasolina, paglaki ng materyal na semiconductor, singaw phase lithography, materyal na pagsusuri, pananaliksik sa kemikal.

Sa pangkalahatan, electronic gradehydrogen chlorideay isang maraming nalalaman, mataas na kadalisayan gas na may malawak na hanay ng mga aplikasyon sa labas ng paggawa ng semiconductor.