Hidrohenong kloridoay isang walang kulay na gas na may masangsang na amoy. Ang may tubig na solusyon nito ay tinatawag na hydrochloric acid, na kilala rin bilang hydrochloric acid. Ang hydrogen chloride ay lubos na natutunaw sa tubig. Sa 0°C, ang 1 dami ng tubig ay maaaring magtunaw ng humigit-kumulang 500 dami ng hydrogen chloride.

Ito ay may mga sumusunod na katangian at katangian:

1. Mataas na kadalisayan

Ang kadalisayan ng elektronikong gradohydrogen chlorideay napakataas, kadalasan sa ppm o mas mababang antas, upang matiyak na walang mga dumi na ipinapasok sa proseso ng paggawa ng semiconductor.

2. Kawalang-kilos

Ito ay isang kemikal na inert na gas na hindi tumutugon sa maraming iba pang mga sangkap, na napakahalaga upang maiwasan ang kontaminasyon ng mga materyales at kagamitan ng semiconductor.

3. Mataas na katatagan

Elektronikong gradohydrogen chloridesa pangkalahatan ay may matatag na kimika upang matiyak ang maaasahang pagproseso ng semiconductor.

Sa pagproseso ng semiconductor, ang mga pangunahing aplikasyon ng electronic grade hydrogen chloride ay kinabibilangan ng:

1. Paglilinis at paghahanda ng ibabaw

Bilang isang mahusay na panlinis ng ibabaw, elektronikong gradohydrogen chlorideay ginagamit upang alisin ang mga oksido at mga dumi mula sa ibabaw ng substrate upang matiyak ang kalidad at kadalisayan ng epitaxial layer o film.

2. Pantulong sa paglaki ng epitaxial

Ginagamit bilang ahente sa paggamot sa ibabaw sa prosesong epitaxial, nakakatulong ito upang mapabuti ang kalidad ng epitaxial layer, mapabuti ang pagtutugma ng lattice, at mabawasan ang pagbuo ng mga depekto sa lattice.

3. Pretreatment ng substrate

Bago ang paghahanda ng mga aparatong semiconductor, elektronikong gradohydrogen chloridemaaaring gamitin upang gamutin ang ibabaw ng substrate upang bumuo ng isang matatag na base upang mapabuti ang pagdikit sa pagitan ng epitaxial layer at ng substrate.

4. Pantulong na ahente ng deposisyon

Sa proseso ng chemical vapor deposition (CVD) o physical vapor deposition (PVD), ang electronic grade hydrogen chloride ay maaaring gamitin bilang gas phase transfer medium upang lumahok sa deposition reaction ng mga semiconductor materials.

5. Ahente ng paglilipat ng gas-phase

Bilang isang gas-phase transfer agent, ang iba pang mga gaseous precursor ay ipinapasok sa reaction chamber upang makatulong na ayusin ang deposition rate at uniformity ng materyal.

Ang mga katangiang ito ang bumubuo sa elektronikong gradohydrogen chlorideisang mahalagang ahente sa pagproseso sa teknolohiya ng semiconductor, na may mahalagang epekto sa pagganap at pagiging maaasahan ng pangwakas na aparato.

Bukod sa paggamit nito sa pagproseso ng semiconductor, ang electronic grade hydrogen chloride ay maaaring makahanap ng iba't ibang gamit sa iba pang mga larangan, kabilang ang: Paghahanda ng mga materyales na may mataas na kadalisayan, Mga Fuel Cell, Paglago ng materyal na Semiconductor, Vapor Phase Lithography, Pagsusuri ng Materyal, Pananaliksik sa Kemikal.

Sa pangkalahatan, elektronikong gradohydrogen chlorideay isang maraming gamit, mataas na kadalisayan na gas na may malawak na hanay ng mga aplikasyon sa labas ng paggawa ng semiconductor.