Boron trichloride (BCl3)ay isang inorganic compound na karaniwang ginagamit sa dry etching at chemical vapor deposition (CVD) na mga proseso sa paggawa ng semiconductor. Ito ay isang walang kulay na gas na may malakas na masangsang na amoy sa temperatura ng silid at sensitibo sa mahalumigmig na hangin dahil nag-hydrolyze ito upang makagawa ng hydrochloric acid at boric acid.

Mga aplikasyon ng Boron Trichloride

Sa industriya ng semiconductor,Boron trichlorideay pangunahing ginagamit para sa dry etching ng aluminyo at bilang isang dopant upang bumuo ng mga P-type na rehiyon sa mga wafer ng silikon. Maaari rin itong gamitin upang mag-ukit ng mga materyales gaya ng GaAs, Si, AlN, at bilang pinagmumulan ng boron sa ilang partikular na aplikasyon. Bilang karagdagan, ang Boron trichloride ay malawakang ginagamit sa pagproseso ng metal, industriya ng salamin, pagsusuri ng kemikal at pananaliksik sa laboratoryo.

Kaligtasan ng Boron Trichloride

Boron trichlorideay kinakaing unti-unti at nakakalason at maaaring magdulot ng malubhang pinsala sa mata at balat. Nag-hydrolyze ito sa mahalumigmig na hangin upang maglabas ng nakakalason na hydrogen chloride gas. Samakatuwid, ang naaangkop na mga hakbang sa kaligtasan ay kailangang gawin kapag humahawakBoron trichloride, kabilang ang pagsusuot ng proteksiyon na damit, salaming de kolor at kagamitan sa proteksyon sa paghinga, at pagpapatakbo sa isang mahusay na maaliwalas na kapaligiran.