Boron trichloride (BCl3)ay isang inorganic compound na karaniwang ginagamit sa mga proseso ng dry etching at chemical vapor deposition (CVD) sa paggawa ng semiconductor. Ito ay isang walang kulay na gas na may malakas at masangsang na amoy sa temperatura ng silid at sensitibo sa mahalumigmig na hangin dahil ito ay nagha-hydrolyze upang makagawa ng hydrochloric acid at boric acid.

Mga Aplikasyon ng Boron Trichloride

Sa industriya ng semiconductor,Boron trichlorideay pangunahing ginagamit para sa dry etching ng aluminum at bilang dopant upang bumuo ng mga P-type na rehiyon sa mga silicon wafer. Maaari rin itong gamitin upang mag-ukit ng mga materyales tulad ng GaAs, Si, AlN, at bilang pinagmumulan ng boron sa ilang partikular na aplikasyon. Bukod pa rito, ang Boron trichloride ay malawakang ginagamit sa pagproseso ng metal, industriya ng salamin, pagsusuri ng kemikal at pananaliksik sa laboratoryo.

Kaligtasan ng Boron Trichloride

Boron trichlorideay kinakaing unti-unti at nakalalason at maaaring magdulot ng malubhang pinsala sa mga mata at balat. Ito ay naghi-hydrolyze sa mahalumigmig na hangin upang maglabas ng nakalalasong hydrogen chloride gas. Samakatuwid, kailangang gawin ang mga naaangkop na hakbang sa kaligtasan kapag humahawakBoron trichloride, kabilang ang pagsusuot ng damit pangproteksyon, salaming pang-araw at kagamitan sa proteksyon sa paghinga, at pagpapatakbo sa isang kapaligirang may maayos na bentilasyon.